ESD教育訓練教材訓練課程大綱壹.靜電放電(ESD)介紹貳.ESD防制之目的參.ESD基本知識介紹肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用伍.ESD防制基本作業規範壹.靜電放電(ESD)介紹靜電原因:摩擦、剝離、感應...機制:物質因失去或得到電子而帶電靜電放電原因:電位不同物體間的電荷移轉不一定伴隨有電弧或火花發生摩擦生電與靜電放電剝離生電感應生電--金屬葉片驗電器Metal-leafElectroscope靜電放電模式人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電，當此人去碰觸到IC時，人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內，再經由IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns,nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流，電流會把IC內的元件給燒毀。機器放電模式(MM)的ESD是指機器(例如機器手臂)本身累積了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經由IC的pin放電。因為大多數機器都是用金屬製造的，其機器放電的等效電阻為0；由於機器放電模式的等效電阻為零，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生，因此對元件的破壞力更大。此放電模式(CDM)是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電，但在靜電累積的過程中IC並未受傷。此帶有靜電的IC在處理過程中，當其pin去碰觸到接地面時，IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來，而造成了放電的現象。此種模式的放電時間更短，僅約幾毫微秒之內，而且此放電現象更難以真實的被模擬。ESD三種模式比較貳.ESD防制之目的參.ESD基本知識介紹影響靜電荷產生量的因素相對溼度物質材料(摩擦電序列)接觸的面積摩擦頻率摩擦電序列靜電防治材料特性接地系統ESDGround(SoftGround)靜電放電接地能夠使靜電產生源(人或物)藉由此路徑到接地的端點、排線、金屬線或其他接地系統。(EIA-625)Ground(HardGround)實接地藉由電子線路或特殊設備和大地(Earth)連接的導電接點，和大地間具零電位差。接地線用導體接地用導體需要有足夠的機械強度、耐腐蝕且不會發生斷線之電線或金屬導體。固定設備的接地用導體須用1.25mm2以上的600V級PVC絕緣電線，絕緣被覆採用綠色。(經濟部工業局)移動設備的接地用導體須用1.25mm2以上的橡膠、人造橡膠或塑膠絕緣柔性(可繞)電線。移動及震動頻繁設備的接地用導線須用1.25mm2以上絞線、網線。為容易發現斷線，最好是未加絕緣的電線。使用鏈子做接地導體(搬運車)，應確定其不因腐蝕、生鏽影響導通情況，且不因其不連性而接觸不良。1.接地斷路警報器操作說明與校正、認證。2.接地線接地是否良好,以“接地斷路警報器”偵測結果為評斷標準。3.警報器之安裝位置必須在接地線末端。4.接地線必須以電木支撐固定,不可以其他導電物體固定或接觸。5.工作桌面之接地線架設連接方式,如下圖所示。接地斷路警報器正確方式:接地線必須以電木支撐固定,不可以其它導電物體固定或接觸。錯誤方式:接地線以鋁製導體支撐固定,易與其它導電物體接觸,造成斷路警報器誤判。接地線連接方式與CONNECTOR型式工作桌面接地線連接方式與CONNECTOR型式CD法則(CDRule)基本法則(BasicRule)基本法則的落實肆.ESD防制之設備儀器介紹與使用表面阻抗測試器靜電壓測試器接地斷路警報系統靜電環測試器靜電環表面阻抗測試器靜電壓測試器功能:自動偵測AC電源極性及接地系統有無異常確保作業人員及儀器安全接地斷路警報系統操作說明靜電環測試器靜電環測試器靜電環功能：主要為防止HBM對於ESDS元件的破壞型式：粘帶式、金屬、紡織品、鬆緊帶式安全性：必須要有限流電阻(通常為1M,1/4W)來保護人體安全，接地線與靜電環分離的拉力為1-5lb.伍.ESD防制基本作業規範ESD管制標誌及標籤所有放置ESD敏感元件之容器應於顯而易見的位置貼上ESD靜電防護標籤。靜電安全工作站之作業指導書應附有ESD靜電防護標籤。靜電安全工作區域中無法避免之絕緣材料(OI架、資料夾…)時，應使用靜電消散液覆蓋其表面，並定期檢測是否失效。電腦螢幕(陰極射線管)應予以接地屏蔽或使用離子風扇，平衡產生之電荷。於靜電安全工作區外一公尺範圍內，所有物體之靜電壓須小於100V。工作桌墊須確實接地並將每月之檢測結果記錄於桌墊後。導電地板區域內，台車須連結接地鏈(一般區域以接地線接地)，且台車各層桌墊須予以連結導通；裝載未完成品之台車須予以適當之防靜電遮蔽。所有人員進入靜電安全