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d技术适用空间;微区分析特性;仪器灵敏度;定性、定量分析依据;图谱解析难度;分析试样要求;联用技术;多功能电子能谱仪:XPS-AES-SIMS-LEED-UPS-MBE低能电子衍射图形提供有关表面周期性的信息→元格的大小和形状,不能给出有关原子的位置、表面层与衬底之间的距离和有关元格中原子分布的信息后加速显示型LEED装置:入射电子能量通常为20~500eV,对应波长为0.3~0.05nm。全面观察衍射光斑的排列;研究有序表面单元网格的形状和大小;Al(100)表面在正入射时各种(h1h2)衍射束的I-E曲线从表面向体内发展的化学吸附和表面反应—腐蚀、氧化、碳化、化合物形成;