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B173RW01V3Frame量测工具及方式不同致使量测数值差异的简析20101230.ppt

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B173RW01V3Frame量测工具及方式不同致使量测数值差异的简析目录差异产生原因量测数值比对（一）经使用不同的量测方式及工具量测同一片样品，比对及总结所得：①量测工具一样的条件下，量测方式为：组cover+LGP比组cover不组LGP，长中尺寸实测值小，宽中尺寸实测值大②量测方式一样的条件下，量测工具为：卡尺比2.5D/3D量测尺寸都要小。③翘曲量测瑞仪及璨宇为组cover+LGP，奈普为组Cover不组LGP综合各家BL厂量测方式和工具不同，实测所得长中及宽中和翘曲尺寸数值相差颇大，总结为如下公式：长中外尺寸实测数值：昆山辅讯≈璨宇﹥瑞仪宽中外尺寸实测数值：昆山辅讯﹤璨宇=瑞仪翘曲实测数值：昆山辅讯﹤璨宇=瑞仪厂内相应对策及管控方式总结ThankYou!